用于监测RTP快速退火炉氧含量的高温氧气分析仪 - 环保之家

RTP快速退火炉是一种高温热处理设备，将晶片快速加热到设定温度（超过1000℃的高温状态），进行短时间快速热处理的方法，从而控制材料的微观结构的可控调节和物理性能的改善。广泛应用于半导体、光电子、纳米材料等领域的研究和生产中，可以帮助人们更好地了解材料的本质和开发出更的新材料。

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退火炉其工作原理是将样品放置在炉膛中，在惰性气氛下进行快速加热和冷却。快速加热可以通过电阻加热、激光辐射等方式实现，通常需要几秒钟到几分钟的时间。然后，样品会在几毫秒内被强制冷却至室温，以限制材料结构的再生长和晶粒的长大。这种快速退火过程可以促进晶体的非平衡状态，从而改变其物理性质，例如提高导电率、硬度和耐腐蚀性等。为此值得注意的是在退火炉工作时，炉内处于正压状态且氧含量几乎为零，这是为了防止外界空气进入。另一方面由于炉内氧分压不足，空气中的氧还是会少量扩散到炉内。当退火炉内的氧含量出现异常时，可能源于以下几种原因：

因此在退火炉生产过程中，气体成份的变化，直接影响产品的品质，通常需要采取微量氧气分析仪，常量氧气分析仪、露点仪分析仪监测工业过程中的气氛变化，通过PLC控制连锁，控制系统进行配合后，将成分参数与其他参数综合进行分析处理，会更容易提高调解品质，达到优质、高产、低耗的目的。通过氧气分析仪不间断的测定炉膛内的氧气含量，以便及时发现问题，迅速采取相应的措施、杜绝事故的发生。分析系统分别对镀锌退火炉的预热段、加热段、喷冷段、的微量水、常量氧、常量氢、微量氧进行分析。工采网提供的一款英国SST高温氧气分析仪–OXY-Flex供电电压为24V，有多种输出∶4~20mA,0~10VRS232，适用于不易接触到气体的测星场合或封闭系统，如通风管道，烟道和容器里。